化學成分分析的方法主要有化學分析，物理分析。其中物理分析越來越受到研究者的關注，其具有幾個特點：

         1.不破壞樣品成分，

         2.絕大部分的物理分析的區域很小

         3.儀表面分析方法為主

         4.分析速度快，靈敏度高。常見的物理分析方法包括X射線熒光光譜（XRF）等離子發射光譜（ICP）原子吸收光譜（AAS）原子熒光光譜法（AFS）和電子探針分析（EPMA）

        XRF分析測試技術已經在地質，冶金，電子機械，石油，航空航天材料，生物，生態環境等領域廣泛應用。